按冷卻方式可分為油淬和氣淬，按工位數可分為單室式和雙室式。904山威敏爐屬周期性操作爐。真空油淬火爐均為雙室，后室設有電加熱元件，前室頂部為油箱。將工件移入加熱室之后，再將工件移入加熱室。關閉中門后，前室充入惰性氣體約2.66%26次；10 Pa至1.01%26次；200至760 mm Hg。油淬火容易引起工件表面劣化。另外，精密鋼管炭黑與油在表面的粘附不利于簡化熱處理工藝。真空淬火技術的發展主要在于開發性能優良、工作位置單一的風冷淬火爐。上述雙室爐也可用于前室的氣淬和空氣噴射冷卻，但雙工位操作使爐內難以大量加載，在高溫之下容易引起工件變形或改變工件方位，增加淬火變形移動。單工位風冷淬火爐在加熱保溫完成之后，在加熱間之內進行噴射冷卻。氣冷冷卻的冷卻速度不如油冷卻快，也低于傳統淬火方法之中的等溫淬火和分步淬火。因此，提高噴霧室壓力、增大流量、使用摩爾質量小于氮氣和氬氣的惰性氣體氦氣和氫氣是真空淬火技術的主流。20世紀70年代初，氮霧冷卻的壓力從&40；1-2&41；%26倍；10Pa提高到&40；5-6&41；%26倍；10Pa，使冷卻能力接近常壓下的油冷。